シングウバラ, ショウゾウ
新宮原, 正三

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一般注記 SRC:多層配線技術の最新動向 : 銅配線/低誘電率膜 / 新宮原正三 (EDリサーチ社, 2002.11)
コード類 典拠ID=A000141137  NCID=DA14248944
1 科学技術の発展とエネルギーの利用 / 新宮原正三著 東京 : コロナ社 , 2016.5