プラズマイオンプロセスとその応用 / 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編
プラズマ イオン プロセス ト ソノ オウヨウ
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : オーム社 |
| 出版年 | 2005.10 |
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| 本文言語 | 日本語 |
|---|---|
| 大きさ | xi, 279p ; 22cm |
| 一般注記 | 文献:章末 |
| 著者標目 | 電気学会 <デンキ ガッカイ> 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会 <デンキ ガッカイ プラズマ イオン コウド リヨウ プロセス チョウサ センモン イインカイ> |
| 件 名 | BSH:イオンビーム加工 BSH:プラズマ物理学 |
| 分 類 | NDC8:549.1 NDC9:549.1 |
| ISBN | 4274201236 |
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