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超精密洗浄技術の開発 / 角田光雄監修
チョウセイミツ センジョウ ギジュツ ノ カイハツ
(CMC books)

データ種別 図書
普及版
出版者 東京 : シーエムシー
出版年 2000.9

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板橋2F 一般書架
576.5/Ts82 0189841
488231083X
狭山 板橋B2保管
576.59/Ts82 4088415
488231083X

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本文言語 日本語
大きさ iv, 247p ; 21cm
別書名 標題紙タイトル:Development of ultra precision cleaning technologies
一般注記 初版の書名: 超精密洗浄技術
著者標目  角田, 光雄 <ツノダ, テルオ>
件 名 BSH:洗浄法
分 類 NDC8:576.5
NDC9:576.5
ISBN 488231083X
目次/あらすじ

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