微細加工とレジスト / 野々垣三郎著
ビサイ カコウ ト レジスト
(高分子新素材one point / 高分子学会編 ; 3)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 共立出版 |
| 出版年 | 1987.11 |
所蔵情報を非表示
| 配置場所 | 巻次等 | 請求記号 | 資料番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 請求メモ | 予約 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 板橋B2 書庫和書書架 |
|
578.08/KO14/3 | 0124546 |
|
4320042271 | |||
| 狭山 板橋B2保管 |
|
549.7/N95 | 4090238 |
|
4320042271 |
書誌詳細を非表示
| 本文言語 | 日本語 |
|---|---|
| 大きさ | iv, 99p ; 19cm |
| 著者標目 | 野々垣, 三郎 <ノノガキ, サブロウ> |
| 件 名 | BSH:集積回路 NDLSH:集積回路 NDLSH:電子光学 |
| 分 類 | NDC8:549.7 NDC7:549.8 |
| ISBN | 4320042271 |
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